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提出了用牛顿环中心位置标定微操作机器人坐标系的新方法。将单模光纤输出的准球面波与平面波干涉产生牛顿环,根据牛顿环在二维标尺上的位置确定光纤输出端的二维坐标。与平面波垂直的另一路平面波与准球面波干涉以确定光纤输出端的第三维坐标。将光纤夹持在被标定部件上,分别标定各部件的机械轴所确定的坐标系与标尺坐标系的变换矩阵后,由矩阵运算得到各坐标系之间的关系。测量精度为亚微米量级。标定时,图像质量不受显微物镜景深的限制。