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光刻版清洗机是典型的多轴运行类自动化清洗设备,清洗效率的提升是此设备的关键技术之一。介绍了一种基于时序分析的提升该设备运行效率的方法,实验证明此方法通过对控制时序的分析和优化,有效提升了设备的运行效率。
基于时序分析的光刻版清洗机运行效率提升方法
【摘 要】
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光刻版清洗机是典型的多轴运行类自动化清洗设备,清洗效率的提升是此设备的关键技术之一。介绍了一种基于时序分析的提升该设备运行效率的方法,实验证明此方法通过对控制时序
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年12期
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