金刚石薄膜异质外延的研究进展

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主要介绍金刚石薄膜在Si上异质外延的研究状况.综述了外延金刚石薄膜的偏压形核,SiC过渡层的影响及一些实验参数对外延薄膜质量的影响等,并论述了发展方向.
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