【摘 要】
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瓦片式有源相控阵天线具有体积小、质量轻和频率高等优点,是目前研究的热点。LTCC基板在有源相控阵天线瓦片式T/R组件中,不仅提供电路功能,还提供结构支撑作用。对DuPont和Fe
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十四研究所,中华通信系统有限责任公司河北分公司,河北诺亚人力资源开发有限公司
【基金项目】
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科工局装备发展预研项目(41423010609)
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瓦片式有源相控阵天线具有体积小、质量轻和频率高等优点,是目前研究的热点。LTCC基板在有源相控阵天线瓦片式T/R组件中,不仅提供电路功能,还提供结构支撑作用。对DuPont和Ferro两种LTCC基板封装体进行气密性测试,分析试验结果发现:DuPont基板本身的气密性可以达到10^-9Pa·m^3/s;Ferro基板由于材料本身的多孔结构,在压力作用下,基板表层一定厚度内多孔结构中吸附大量气体,气密性介于10^-8~10^-6Pa·m^3/s之间,这种基板本身的气密性表现,将会直接影响
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