【摘 要】
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硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺公开(公告)号:101659414公开(公告)日:2010-03-03申请(专利权)人:西安航天华威化工生物工程有限公司摘要:本发明属于多晶硅技术领域,具体
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硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺公开(公告)号:101659414公开(公告)日:2010-03-03申请(专利权)人:西安航天华威化工生物工程有限公司摘要:本发明属于多晶硅技术领域,具体涉及硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。过去,硅甲烷属特种气体,一般用于科学研究,需求量不大,目前,随着太阳能产业的迅猛发展,硅甲
(IPEXL) Low-temperature production of silanes and comprehensive recovery by-product process Publication number 公开 号 101659414 Publication Date 公开 日期: 2010-03-03 Applicant: Xi’an Aerospace Warwick Chemical Engineering Co., Ltd. Abstract: The present invention belongs to polycrystalline silicon technology Areas, specifically involving the low-temperature production of silanes and by-products comprehensive recovery process. In the past, silane is a specialty gas, generally used for scientific research, the demand is not large, at present, with the rapid development of solar energy industry, silicon
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