【摘 要】
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为了设计和制造一个高精度的步进工作台或进给装置,目前必不可少的一个环节是采用闭环控制系统,从而使光栅测长系统得到了广泛的采用,尤其是当前我国大多数旧的工艺设备面临
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为了设计和制造一个高精度的步进工作台或进给装置,目前必不可少的一个环节是采用闭环控制系统,从而使光栅测长系统得到了广泛的采用,尤其是当前我国大多数旧的工艺设备面临着全面的技术改造,许多旧设备都需要通过改进提高加工精度,因而光栅测长技术有着广阔的实用领域。
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