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回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜（包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等）的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工芑及制备参数的依赖关系，给出了在此领域内应进一步进行的工作。
柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展
【摘 要】
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回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜（包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等）的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院,山东师范大学物理系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2002年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (698760 2 5 ,60 0 760 0 6) ,山东省科委 ,山东省自然科学基金资助项目
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