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器件稳健性设计本质是一个多个目标的优化问题。将实验设计和响应表面方法相结合可用来满足减少所需的TCAD模拟次数的强烈需求。然而对一些非线性问题,RSM模型的误差可能会大到影响设计结果的有效性。为找到可行空间,提出了一种考虑RSM模型误差时,面向目标的多代设计方法。通过在由当前代中的RSM模型结果所得到的有希望空间中增加设计,使得模型误差减小并得到可行空间。对FIBMOS例子的结果显示方法是有效的。