纳米样板的制备及其精度分析

来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wisled

【摘要】

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介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为

【作者】

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景蔚萱赵惠英蒋庄德

【机构】

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西安交通大学精密工程研究所

【出处】

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计量学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

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计量学原子力显微镜纳米样板探针诱导阳极氧化线宽直线度平行度不确定度 Metrology Atomic force microscope (AFM)

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介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等;用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板,并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析.

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