探针诱导阳极氧化相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

探针诱导阳极氧化相关论文

纳米样板的制备及其精度分析

介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱......

期刊

计量学原子力显微镜纳米样板探针诱导阳极氧化线宽直线度平行度不确定度 Metrology Atomic force microscope (AFM)

纳米测量及纳米样板

介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状.提出了两种制备纳米结构样板的方法:Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极......

期刊

计量学原子力显微镜纳米样板探针诱导阳极氧化机械划刻线宽直线度平行度纳米测量 metrology atomic force microscopy

看过本文同时还关注