论文部分内容阅读
介绍了采用多弧离子镀设备，在玻璃基片上沉积ＴｉＯ２薄膜材料的制备技术。掺杂方法简单实用。采用ＳＥＭ、ＸＲＤ等对薄膜的结构和成分进行了观察和分析，用方形四点探针法测量了薄膜的电导率并对薄膜的气敏性能进行了初步研究。结果表明，ＴｉＯ２膜的组织致密，主要为金红石相结构。ＴｉＯ２薄膜在３００℃下对Ｏ２有较好的选择性。