薄膜微电极相关论文
探索研究了用于构制以硅为基体材料，具有特定三维微结构的微电流型电化学气体传感器的微加工工艺，提出了双面光刻，高硼掺杂腐蚀止停、......
对丝网印刷术在微电极制备方面的应用作了系统和详尽的描述,对绷网、制阳图底板、涂布感光胶、晒网、显影、坚膜、印刷等印制各步......
基于非电活性气体ＣＯ２在‘二甲亚砜／铂微电极’体系中定量的电还原反应，提出微电流法常温直接检测二氧化碳，在常规气敏微有和硅一体化薄膜......
