【摘 要】
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用液面标定立式平面干涉仪,并借助通用工具将得到的干涉图做数字化处理,可以得到以OPDs形式表示的基准干涉图。在检验平面面形时,通过检验干涉图与基准干涉图的差值处理,能够
【机 构】
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中国科学院长春光机所,中国科学院长春光机所
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用液面标定立式平面干涉仪,并借助通用工具将得到的干涉图做数字化处理,可以得到以OPDs形式表示的基准干涉图。在检验平面面形时,通过检验干涉图与基准干涉图的差值处理,能够使一般平面干涉仪的面形检验精度从λ/20提高到λ/40。图1,参7。
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