【摘 要】
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在分析未硬化重铬酸盐明胶水洗显影工艺沟形保真能力差的原因的基础上，提出了用预硬化明胶来制作高保真沟形微光学元件的酶蚀显影技术。并实验验证了这种技术的可行性。初步结
【机 构】
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浙江师范大学信息光学研究所,四川大学信息光学研究所
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在分析未硬化重铬酸盐明胶水洗显影工艺沟形保真能力差的原因的基础上，提出了用预硬化明胶来制作高保真沟形微光学元件的酶蚀显影技术。并实验验证了这种技术的可行性。初步结果令人满意
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