平面型场发射显示器的自聚焦效应

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hlyhky
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用有限差分法分析了平面型场发射显示器中的电场分布,给出了发射电子的运动轨迹,证明了在薄膜结构的平面阴极器件中存在自聚焦效应.聚焦效果取决于上电极宽度、上电极电压、阳极电压、以及阳极和上电极的间距.由于电子束的自聚焦作用,上电极和阳极的间距可以加大,因此可以使用CRT高压荧光粉,这是平面器件与微尖型器件相比具有的优点之一.
其他文献
综述了制备ULSI低介电常数材料的各种CVD技术。详细介绍PCVD技术淀积含氟氧化硅薄膜、含氟无定型碳膜与聚酰亚胺类薄膜的工艺,简要介绍了APCVD技术淀积聚对二甲苯类有机薄膜及
通过滚涂法制备了一种掺杂二甲基亚砜(DMSO)和炭黑的改性PEDOT∶PSS新型对电极。固定炭黑的加入量,调节PEDOT∶PSS与DMSO的比例,用滚涂法制备了不同的薄膜对电极。通过四探针
介绍了分步重复投影光刻业半微米光刻物镜光学和机械结构研究设计、设计结果,以及公差控制。指出技术指标已达到:数值孔径NA=0.63、工作波长λ=365nm、倍率5x、工作分辨力R≤0.35μm,设计和镜所用透镜
利用多孔硅形成的选择性。在指定的硅衬底区域制作多孔硅作牺牲层,提出了制作微结构,后进行阳极氧化,形成多孔硅牺牲层的工艺,由此制备出了良好的悬空结构,并对多孔硅形成的选择性
提出了一种应用于电子束曝光机束流测量中的自动跟踪工频陷波器,给出电路结构,基于对其工作原理的分析,介绍了提高陷波器跟踪精度的设计要点及调试方法。
用射频等离子体化学沉积方法制备氢化非晶碳(a-C:H)膜。在等离子体气氛中引入胺基团,则能够在a-C:H薄膜沉积过程中将胺基团掺入薄膜的网络结构中。喇曼光谱表明薄膜具有无序态结
本文介绍一种用电阻丝局部加热,重力拉伸光纤制作尖端的方法。采用该法在合适的实验条件下制作出了于近场光子显微镜的尖端。该法有实验设备简单,便于制作的优点,可敬 率半径小
本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法,对影响气浮工件台重复定位精度的各种因素做了详细的介绍。
主要介绍一种光刻机投物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构,地象特性和过程指标要求,采用了一种智能型线性-模糊控制器,获得了优良的动态和稳态性能。
本文采用基片可旋转并利用红外灯管加热基片多靶磁控溅射台的制备了不同成分及基片温度的Ag-SiO2复合薄膜。