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本文针对NPN双极性晶体管，在研究辐照感生的氧化层电荷及界面态对晶体管基极电流和1/f噪声的影响的基础上，建立辐照感生氧化层电荷及界面态与基极电流和1/f噪声的定量物理模型。根据所建立的模型，提出一种新的分离方法，利用1/f噪声和表面电流求出氧化层电荷密度，利用所求得氧化层电荷密度和表面电流求出界面态密度。利用本方法初步实现了辐照感生氧化层电荷及界面态的定量计算。