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多丝切割是一种新兴的硅片切片加工方法，在硅片的多丝切割加工中，金属丝的张力控制是影响加工的重要因素，本文分析了多丝切割机走丝系统的特点，采用张力控制电机实现走丝系统的速度差张力控制。仿真结果表明该方法可以满足走丝系统张力控制的高精度、高响应速度、波动小的控制要求。
多丝切割机走丝系统的张力控制
【摘 要】
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多丝切割是一种新兴的硅片切片加工方法，在硅片的多丝切割加工中，金属丝的张力控制是影响加工的重要因素，本文分析了多丝切割机走丝系统的特点，采用张力控制电机实现走丝系统的速
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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2006年8期
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