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继研制成功单模脊形锗硅合金波导后,进一步用这种光波导试制Y分支器,文中用束传播法BPM首先从理论上分析了波长λ=1.3μm的光波在分支器中的传播特性,模拟计算了模场的传播及损耗,其次叙述了实际锗硅Y分支的制造工艺及测量结果,结果表明,激光束耦合进锗硅分支器的输入端后,分支器的二路输出端成功输出均匀的单模光波。