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通过分析加入不同交联剂质量分数的PVP绝缘膜MIS结构的电学特性,研究了交联剂质量对PVP薄膜电学特性的影响。交联剂PMF和PVP均溶于PGMEA,PVP绝缘膜通过溶液旋涂法由交联剂质量分数分别为1%、3%、5%、7%的四种溶液制成,四种溶液PVP的质量分数均为5%。对CV特性、Vt特性和IV特性的分析表明,在PVP质量分数为5%的溶液中,加入质量分数为5%的交联剂,退火之后形成的PVP绝缘膜陷阱密度最低,漏电流最小,仅为2.9×10-8A/cm2。通过对JV特性曲线的线性拟合发现,PVP绝缘膜在低电场情况下漏电机理为PF效应,在高电场情况下PVP绝缘膜漏电机理存在由肖特基发射至空间电荷限制电流效应的转化。