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半导体器件的过应力损伤问题是危害电子产品可靠性的首要问题。过应力损伤包括电过应力损伤、机械过应力损伤和过高温度损伤。为减少半导体器件在使用现场发生失效，提高经济效益，详细地介绍了半导体器件在使用过程中易发生的过应力损伤。
产体器件的过应力损伤
【摘 要】
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半导体器件的过应力损伤问题是危害电子产品可靠性的首要问题。过应力损伤包括电过应力损伤、机械过应力损伤和过高温度损伤。为减少半导体器件在使用现场发生失效，提高经济效
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1995年3期
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