【摘 要】
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本文在１７ＧＨｚ下研制了高精度高温超导薄膜微波表面电阻Ｒｓ测试系统，该系统采用ＴＥ０１１＋δ模悬置屏蔽兰宝石高Ｑ谐振器作为测试传感器，具有很高的测试灵敏度，在７７Ｋ时，Ｒｓ的测试灵敏度为１００μΩ，可对Φ１０ｍｍ以上的单片
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本文在１７ＧＨｚ下研制了高精度高温超导薄膜微波表面电阻Ｒｓ测试系统，该系统采用ＴＥ０１１＋δ模悬置屏蔽兰宝石高Ｑ谐振器作为测试传感器，具有很高的测试灵敏度，在７７Ｋ时，Ｒｓ的测试灵敏度为１００μΩ，可对Φ１０ｍｍ以上的单片高温超导薄膜（单面或者双面）进行高灵敏度、高精度、非损伤自动测量．
In this paper, a high-precision high-temperature superconducting thin film microwave surface resistance Rs test system has been developed at 17GHz. The system uses a TE011 + delta mode-shielded sapphire high-Q resonator as a test sensor with high testing sensitivity. At 77K, Test sensitivity of 100μΩ, for Φ10mm above the single-chip high-temperature superconducting thin film (single or double) for high sensitivity, high precision, non-destructive automatic measurement.
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