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提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性。
微机械电磁阻尼结构分析
【摘 要】
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提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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机械强度
【发表日期】
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2007年5期
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