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本文介绍了用于２１英寸ＰＤＰ清洗的工艺流程及解决各种对清洗质量造成影响的因素的办法。
对PDP清洗工艺的探索
【摘 要】
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本文介绍了用于２１英寸ＰＤＰ清洗的工艺流程及解决各种对清洗质量造成影响的因素的办法。
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2000年4期
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