【摘 要】
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<正> 一、国外概况感应同步器(Inductosyn)最早是由美国空军提出,由纽约州法兰德(Farrand)光学公司承接的一个研究项目,经过四年研制于五十年代初期研制成直径为5英寸,精度为
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<正> 一、国外概况感应同步器(Inductosyn)最早是由美国空军提出,由纽约州法兰德(Farrand)光学公司承接的一个研究项目,经过四年研制于五十年代初期研制成直径为5英寸,精度为5角秒、灵敏度为0.25角秒、重复精度为1角秒的圆感应同步器。随着科学技术的发展、工艺水平的不断提高,至今,在感应同步器的精度上又提高了一个数量级。目前美国法兰德公司,直径为12英寸的圆感应同步器精度可达0.5角秒、分辨率为0.35角秒、重复性约为0.05角秒;直线感应同步器的精度可达1微米左右,其分辨率为0.03微米、重复性约为0.05微米。
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