Effect of ammonia gas etching on growth of vertically aligned carbon nanotubes/nanofibers

来源 :中国有色金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rogiangel

【摘要】

：

The etching effect of ammonia (NH3) on the growth of vertically aligned nanotubes/nanofibers (CNTs) was investigated by direct-current plasma enhanced chemical

【作者】

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Sang-Gook KIM Sooh-Yung KIM Hy

【机构】

：

DepartmentofMechanicalEngineering,NationalCoreResearchCenterforHybridMaterialsSolution

【出处】

：

中国有色金属学报：英文版

【发表日期】

：

2011年A01期

【关键词】

：

碳纳米管垂直排列纳米纤维等离子体增强化学气相沉积生长氨气高分辨透射电子显微镜等离子蚀刻 carbon nanotube ammonia etch

【基金项目】

：

Project supported by Intelligent Microsystem Center（IMC）, Project（2010-0008-276） supported by the National Core Research Center through the National Research Foundation of Korea funded by the Ministry

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