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总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,着重针对半导体生产线大规模、可重入、可靠性、混合加工方式、不确定性等特殊复杂性,对多种扩展Petri网模型进行了分析和比较,并进一步探讨了基于Petri网模型和扩展Petri网模型的半导体生产线建模方法,指出了存在的问题,并探讨了可能的研究方向.
基于Petri网的半导体生产线建模
【摘 要】
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总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,着重针对半导体生产线大规模、可重入、可靠性、混合加工方式、不确定性等特殊复杂性,对多种扩展Petri网模型进行了分析和比较,并
【机 构】
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上海同济大学CIMS中心
【出 处】
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计算机工程
【发表日期】
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2005年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(60374005);国家“973”计划基金资助项目(2002CB312202)
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