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本文评述了激光光刻可能采取的方式及其待解决的问题,并对相移掩模技术作了概要的介绍。
激光光刻与相移掩模
【摘 要】
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本文评述了激光光刻可能采取的方式及其待解决的问题,并对相移掩模技术作了概要的介绍。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所201800
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年2期
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