【摘 要】
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在微纳米PIN电光调制器的基础上，分析了载流子浓度对其调制特性的影响。根据注入调制区载流子平均浓度随时间变化关系，采用在驱动信号中加入正反向预加重电压的调制电压方式，不
【机 构】
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西安理工大学自动化与信息工程学院,西安工程大学理学院
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在微纳米PIN电光调制器的基础上，分析了载流子浓度对其调制特性的影响。根据注入调制区载流子平均浓度随时间变化关系，采用在驱动信号中加入正反向预加重电压的调制电压方式，不仅可以提高注人载流子浓度，而且可以缩短反向抽取载流子所用的时间，从而有效提高电光调制器的调制速度；详细分析了PIN电光调制器结构中内脊高度H、外脊高度h，波导脊宽W以及重掺杂区到波导的距离W_s等参数对其调制特性的影响；最终根据数据的分析，给出了优化后的参数，制作了电光调制器并进行了测试，测试结果验证了文中数据分析的正确性。
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