微型计算机控制椭圆偏振测厚仪

来源 :冶金分析与测试(冶金物理测试分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:syris
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一、概况我所使用的椭圆偏振仪是上海金山仪表电器厂生产的。该仪器原理参见图1。起偏器P和检偏器A是由步进马达带动的,1/4波长片固定在45°角。反射光较强时用裸眼通过反光镜直接观察光的强弱变化,光较弱时,通过光电倍增管转换成电流信号,经直流放大器放大由μA表指示。测试时,轮流 I. Overview I use the ellipsometer is Jinshan Shanghai Instrument Factory production. The instrument principle see Figure 1. Polarizer P and analyzer A are driven by a stepper motor with a 1/4 wavelength plate fixed at a 45 ° angle. Strong reflected light with the naked eye through the mirror directly observe the light changes in the intensity of light is weak, through the photomultiplier tube into a current signal amplified by the DC amplifier indicated by the μA table. Test, take turns
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