非晶硅磷掺杂效率分析的新方法

来源 :湖南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuyanan508
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介绍一种分析a-Si掺杂效率的新方法。该法能够很好地解决a-Si全掺杂范围内掺杂浓度和掺杂效率的计算问题,简便易行,为a-Si掺杂性能研究和器件设计制造提供可靠的掺杂浓度和掺杂效率值。
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