交替中间热处理BST薄膜介电性能研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：placaptain

【摘要】

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用溶胶凝胶（Sol-Gel）法制备了三种钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3, BST）薄膜：常规的四层薄膜, 在逐层制备过程中，对首层薄膜进行中间热处理（Preheat-treatment, PT）的四层薄膜及间隔或交替

【作者】

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廖家轩魏雄邦潘笑风张佳傅向军王洪全

【机构】

：

电子科技大学电子科学技术研究院

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2009年5期

【关键词】

：

中间热处理交替中间热处理钛酸锶钡薄膜介电性能 preheat-treatment alternate-preheat-treatment barium s

【基金项目】

：

博士点基金（20060614021）,四川省应用基础研究（2008JY0057）,电子科技大学中青年学术带头人培养计划（Y02018023601053）

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用溶胶凝胶（Sol-Gel）法制备了三种钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3, BST）薄膜：常规的四层薄膜, 在逐层制备过程中，对首层薄膜进行中间热处理（Preheat-treatment, PT）的四层薄膜及间隔或交替地对奇数层薄膜进行中间热处理（称为交替中间热处理（Alternate-preheat-treatment, APT））的八层薄膜. 用XPS研究薄膜表面成分化学态, 用SEM和AFM观察表面形貌及晶化, 并进行了介电性能测试. 结果表明, 常规薄膜介电性能差; 经PT, 薄膜裂纹和缩孔

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