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为了能更精确地测量薄膜厚度及其折射率，介绍了一般棱镜耦合法的测量理论和实验方法，分析了一般的棱镜耦合法测量模型本身存在的理论误差．从测量理论上对棱镜耦合法进行了改进，提出了精确测量模型，减小了上述理论误差，同时给出了薄膜参数的简便计算方法，从理论上分析了薄膜参数计算方法的误差．用传输矩阵的方法进行了模拟论证，设计了实验装置，测量了在玻璃基底上甩胶法得到的Su-8薄膜，测量结果表明，改进的精确测量模型减小了测量误差，提高了测量精度．