微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luyang123456

【摘要】

：

进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电压作用下,采用复合成分的电解液,选取合适的

【作者】

：

付伟张之敬温楠

【机构】

：

北京理工大学

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2007年5期

【关键词】

：

ECLM 群脉冲微细加工电化学 ECLM group pulses micromachining electrochemical

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进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电压作用下,采用复合成分的电解液,选取合适的电化学加工参数,可获得理想的加工效果.试验结果表明,当加工电压幅值为10 V,初始间隙为0.1 mm时,所加工的超薄微细工件的精度可控制在10μm以内.该方法是微细薄片零件加工的一种有效方法.

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