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金属β—二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜
金属β—二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜
来源 :化学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lqgomqj
【摘 要】
:
对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍,并对它们的应用前景作了展望.
【作 者】
:
许效红
侯云
王民
王弘
周爱秋
【机 构】
:
山东大学晶体材料国家重点实验室,山东大学化学与环境科学学院
【出 处】
:
化学进展
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
金属β-二酮化合物
金属有机化学气相沉积
铁电氧化物薄膜
MOCVD
结构
性质
制备
metal β-diketonates
MOCVD
ferroele
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对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍,并对它们的应用前景作了展望.
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