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对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍,并对它们的应用前景作了展望.
金属β—二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜
【摘 要】
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对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍,并对它们的应用前景作了展望.
【机 构】
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山东大学晶体材料国家重点实验室,山东大学化学与环境科学学院
【出 处】
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化学进展
【发表日期】
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2002年1期
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