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铁电氧化物薄膜相关论文
金属β—二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜
对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介......
期刊
金属β-二酮化合物
金属有机化学气相沉积
铁电氧化物薄膜
MOCVD
结构
性质
制备
metal β-diketonates
MOCVD
ferroele
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