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根据晶圆自旋转磨削的特点,建立了基于模糊PID控制的精密磨削控制系统,该系统主要是通过模糊PID的方法调节磨削进给速度,以实现磨削时对磨削力的控制,并与普通模式进行了实验对比。实验结果表明,基于模糊PID控制算法的精磨磨削能够获得更稳定的磨削力和更高的磨削效率。
基于模糊PID控制的晶圆精密磨削控制系统
【摘 要】
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根据晶圆自旋转磨削的特点,建立了基于模糊PID控制的精密磨削控制系统,该系统主要是通过模糊PID的方法调节磨削进给速度,以实现磨削时对磨削力的控制,并与普通模式进行了实验
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年2期
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