Mg掺杂对Ba0．5Sr0．5TiO3薄膜介电性能的影响

来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianshiye45

【摘要】

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用醋酸盐和钛酸四丁酯为原料，采用sol-gel工艺在Pt／TiO2／SiO2／Si基片上制备了含有Mg元素的Sr0.5Ba0.5-xMgxTiO3薄膜，其退火处理温度为750℃。通过X射线衍射和扫描电镜分析技术研究

【作者】

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韦其红陶文宏付兴华侯文萍

【机构】

：

济南大学材料科学与工程学院

【出处】

：

硅酸盐通报

【发表日期】

：

2006年4期

【关键词】

：

钛酸锶钡薄膜 X射线衍射介频谱介温谱 barium strontium titanate thin film X-ray diffraction die

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用醋酸盐和钛酸四丁酯为原料，采用sol-gel工艺在Pt／TiO2／SiO2／Si基片上制备了含有Mg元素的Sr0.5Ba0.5-xMgxTiO3薄膜，其退火处理温度为750℃。通过X射线衍射和扫描电镜分析技术研究了薄膜的相结构和形貌。采用美国HP Angilent 4294A阻抗分析仪测试了以Pt为底电极、Ag为上电极的MFM电容器的介电性能。实验结果表明：掺镁Sr0.5Ba0.5-xMgxTiO3薄膜较未掺杂的Ba0.5Sr0.5-xTiO3薄膜相对介电常数高、介电损耗低。介温谱表明在居里温度附近发生

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