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MEMS是利用集成电路制造技术和微加工技术把微结构、微传感器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS的最初应用主要在工业和汽车领域,然而在过去十多年时间里,真正让MEMS从默默无闻变成市场上炙手可热的产品,重要推手则是消费类市场,特别是在手机应用、手持式产品里。