【摘 要】
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针对现有表面横波谐振器设计软件仿真精度不够的问题,通过引入中间栅P矩阵模拟其对声波的反射和声速的调制作用,计算不同占空比栅阵的耦合模参数,在仿真中加入了中间栅周期、
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,中国电子科技集团公司第26研究所
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针对现有表面横波谐振器设计软件仿真精度不够的问题,通过引入中间栅P矩阵模拟其对声波的反射和声速的调制作用,计算不同占空比栅阵的耦合模参数,在仿真中加入了中间栅周期、分布和换能器占空比等变量,实现了对中间栅、占空比的优化设计。利用寄生电路计算模块,分析了封装寄生参数的影响,进一步提高了仿真精度。利用该法设计了中心频率315 MHz、插入损耗12 dB、品质因数7 000的谐振器。经实验证实,仿真误差小于0.5%,仿真精度满足设计需要。
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