2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 降低有源区颗粒状缺陷密度的晶圆倒角优化工艺

降低有源区颗粒状缺陷密度的晶圆倒角优化工艺

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yzl1983523

【摘 要】

：

基于28 nm先进工艺平台,研究了有源区工艺中大颗粒状缺陷(LPD)的产生机理及优化方案.研究结果表明,LPD的产生与晶圆边缘倒角形状相关,较短的倒角导致晶圆在CVD工艺中产生背面

【作 者】

：

邓森 乔树山 翟冬梅 李希 

【机 构】

：

中国科学院大学微电子学院,北京100029;中国科学院微电子研究所,北京100029;中芯国际集成电路制造有限公司,北京100176

【出 处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2020年4期

【关键词】

：

晶圆倒角 颗粒状缺陷 有源区 NANO喷洒 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

基于28 nm先进工艺平台,研究了有源区工艺中大颗粒状缺陷(LPD)的产生机理及优化方案.研究结果表明,LPD的产生与晶圆边缘倒角形状相关,较短的倒角导致晶圆在CVD工艺中产生背面划伤.划伤产生的颗粒在气体作用下浮到晶圆表面,经过后续工艺步骤后,在有源区硬掩膜氧化层表面形成LPD.提出了改善晶圆边缘倒角形状和嵌入NANO喷洒工艺步骤的优化方案,消除了LPD,提高了产品的合格率.

其他文献

建筑施工企业项目远程控制管理策略的研究——以青建集团为例

建筑业属于传统产业,用信息化等高新技术改造传统产业,是传统产业持续发展的必由之路,是建筑业实现跨越式发展的重要途径。项目部是现代建筑业最基本的管理单位,其成败将决定

学位

远程控制管理建筑施工企业行业信息化企业资源计划企业文化跨区域发展

湿法刻蚀调节分裂栅存储器的浮栅层形貌研究

随着分裂栅存储器器件尺寸的不断减小,理想浮栅层形貌的获得越来越具有技术挑战性.在实际生产过程中,经常会发生浮栅层存在空洞缺陷的问题.结合第三代分裂栅存储器40nm浮栅层

期刊

分裂栅存储器湿法刻蚀分步刻蚀磷酸换酸方式

28年的执著与坚守——记第十一届长江韬奋奖(韬奋系列)获得者席殿晋

金秋十月,正是收获的季节。全国优秀新闻工作者最高奖——第十一届长江韬奋奖揭晓了。山西日报理论评论部主任、高级编辑席殿晋赫然上榜。对于这份崇高的荣誉,熟知席殿晋的人

期刊

长江韬奋奖新闻工作者评论部党报理论理论宣传评论工作中国新闻奖新闻评论中国记协《山西日报》

比较Focus超声刀与传统方法在开放性甲状腺手术中的应用效果

目的 研究比较Focus超声刀与传统方法 在开放性甲状腺手术中的应用效果.方法 选取2018年8月至2019年8月我院收治的500例进行甲状腺手术的患者作为研究对象,按照随机分组的方

期刊

Focus超声刀传统方法开放性甲状腺手术

对比传统甲状腺手术与小切口手术治疗甲状腺肿瘤的临床价值

目的 对比传统甲状腺手术与小切口手术治疗甲状腺肿瘤的临床价值.方法 选取2019年1月至2019年9月我院收治的76例甲状腺肿瘤患者作为研究对象,按照随机分组的方式将患者分为实

期刊

传统甲状腺手术小切口手术甲状腺肿瘤

一种利用高介电常数薄膜改进的快速关断SOI-LIGBT

介绍了一种利用高介电常数薄膜改进的、制作于绝缘衬底上的横向绝缘栅双极型晶体管(SOI-LIGBT).一方面,覆盖在硅表面的高介电常数薄膜具有引导电通量的作用,可优化器件漂移区

期刊

LIGBT高介电常数关断损耗功率半导体器件

坚持科学发展观 推进衡水市保护性耕作

1推广保护性耕作技术的可行性(1)技术可行性。河北省衡水市从2000年开始,在桃城区、深州市及冀州市选了6个小麦免耕播种试验 1 Promotion of Conservation Tillage Feasibil

期刊

小麦免耕播种免耕播种机桃城技术可行性秸秆粉碎还田免耕播种免耕施肥播种农机服务组织农机化水平农机购置补贴

山东玉米科研课题通过鉴定

2009年5月9日,农业部组织有关专家成立鉴定委员会,在济南市对山东省农业机械技术推广站主持完成的“十一五”国家科技支撑计划重点项目中的“玉米收获机械化技术研究与示范”

期刊

鉴定委员会玉米收获机械化技术推广站科技成果鉴定农业机械重点项目玉米联合收获机玉米割台自走式科研课题

观察臭氧联合玻璃酸钠治疗骨性膝关节炎的临床效果及特点

目的 分析研究对骨性膝关节炎患者采用臭氧联合玻璃酸钠的治疗方式所取得的治疗效果.方法 研究对象选择的是2018年7月至2019年12月到我院骨科进行治疗的26例骨性膝关节炎患者

期刊

臭氧玻璃酸钠骨性膝关节炎治疗效果

次表面横向PNP管制作及辐射效应研究

依据总剂量辐射对横向PNP (LPNP)管的损伤机理,设计了一种辐射加固的次表面LPNP管.开发了通过高能离子注入工艺实现LPNP管的工艺方法,该工艺与常规双极工艺兼容.总剂量辐射试

期刊

横向PNP管抗辐射高能离子注入