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氦气再生设备装配一组高效的气体再生装置，它能够有效地降低氦气泄露的测试成本。整套系统的再生率高达98％，并且具备独一无二的程序化控制技术。压缩机采用无油活塞密封装置，能够有效的防止油污的发生。该设备可以实时的监控气体纯度以及探测泄露气体状况。
氦气储存系统
【摘 要】
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氦气再生设备装配一组高效的气体再生装置，它能够有效地降低氦气泄露的测试成本。整套系统的再生率高达98％，并且具备独一无二的程序化控制技术。压缩机采用无油活塞密封装置，能够
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年1期
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