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Tesla功率器件表征系统提供了一套完整基于晶圆的测试解决方案，可以为大功率半导体器件在不同温度范围内进行低接触电阻测量，范围可达60A和3000V。该系统的特征是具有两个晶圆探针，可以在连续模式下承受10A的电流。该探针的针尖是按照降低晶圆与探针界面接触电阻的要求设计的。该系统还具有高压探针，可以保证在高电压下高性能的电学测量。