【摘 要】
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Infrared reflectivity measurement is carried out for AIN films on sapphire substrates.The frequencies of the symmetry optical phonon E1(TO) in the temperature r
【机 构】
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National Lab for Infrared Physics, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Scien
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Infrared reflectivity measurement is carried out for AIN films on sapphire substrates.The frequencies of the symmetry optical phonon E1(TO) in the temperature range from 77K to 500K are reported by fitting the experimental reflectivity with the classical multi-oscillators model.Taking the lattice thermal expansion and Klemens process of the phonon decay into account,along with the strain effect introduced by thermal mismatch between the film and the substrate,the temperature effect on the frequency of the optical phonon E1(TO) is revealed.It is shown that the shift of frequency is mainly attributed to the decay process while the strain effect induced by thermal mismatch plays a non-negligible role in the outcomes of the strength and damping parameters.
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