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圆片级封装的无铅焊料凸点制作技术研究
圆片级封装的无铅焊料凸点制作技术研究
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mountaineer
【摘 要】
:
对圆片级封装(WLP)的结构设计和关键工艺技术进行了研究;描述了凸点下金属(UBM)层的选择,凸点回流技术,以及凸点的质量控制技术;重点阐述了采用电镀制作无铅焊料凸点的方法。
【作 者】
:
罗驰
叶冬
刘建华
刘欣
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2005年05期
【关键词】
:
圆片级封装
无铅焊料
凸点下金属
凸点
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对圆片级封装(WLP)的结构设计和关键工艺技术进行了研究;描述了凸点下金属(UBM)层的选择,凸点回流技术,以及凸点的质量控制技术;重点阐述了采用电镀制作无铅焊料凸点的方法。
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