【摘 要】
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高性能大规模小像元短波红外InGaAs焦平面探测器是新一代航天遥感仪器向高空间分辨率、高能量分辨率、高时间分辨率发展需要的核心器件。文中报道了高密度InGaAs探测器阵列设计与制备，并与匹配的Si-CMOS读出电路倒焊互连形成焦平面的最新研究进展，重点突破了高密度小像素探测器的暗电流和噪声抑制、百万像素焦平面倒焊互连等关键技术，解决了高平整度芯片面形控制、In柱凸点形貌和高度一致性控制、高密度倒焊
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
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高性能大规模小像元短波红外InGaAs焦平面探测器是新一代航天遥感仪器向高空间分辨率、高能量分辨率、高时间分辨率发展需要的核心器件。文中报道了高密度InGaAs探测器阵列设计与制备，并与匹配的Si-CMOS读出电路倒焊互连形成焦平面的最新研究进展，重点突破了高密度小像素探测器的暗电流和噪声抑制、百万像素焦平面倒焊互连等关键技术，解决了高平整度芯片面形控制、In柱凸点形貌和高度一致性控制、高密度倒焊偏移控制等倒焊新工艺，研制了像元中心距10μm的2 560×2 048元焦平面探测器，其峰值探测率优于1.0×1013 cm·Hz1/2/W，响应不均匀性优于3%，有效像元率优于99.7%，动态范围优于120 dB。采用该焦平面进行了实验室演示成像，图片清晰。
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本文提出了一种基于三明治结构双圆组合贴片的宽频带高功率反射阵列天线。通过将贴片埋藏于介质内部,实现了天线功率容量的提升。采用旋转贴片转角的方式实现360度的相位调控,从而实现天线宽频带性能。基于单元天线设计了9×9反射阵列天线,仿真结果表明,在工作频率9.3 G H z下,该反射阵列天线的增益为22.8dB,口径效率为53.9%,主波束方向的轴比为0.33 dB,1-dB增益带宽约为17.8%,在
培养学生的主体学习胜任力，将为学生形成持续性、有效性学习提供可能。文章分析如何采用“能量集”策略，从反思力、跃迁力、自决力、规划力、执行力和沟通力等不同维度助推学生主体学习胜任力，并以个案研究的方式阐述了实践的过程、成果和思考。
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