【摘 要】
：
在弱碱性介质里以铁氰化钾为钝化剂 ,对铜化学机械抛光技术 (CMP)过程中的电化学行为进行了在线测试。考察了铜在有无铁氰化钾存在下的极化行为及铁氰化钾浓度对腐蚀电位的影
【机 构】
：
中南大学矿物工程系,中南大学化学化工学院
论文部分内容阅读
在弱碱性介质里以铁氰化钾为钝化剂 ,对铜化学机械抛光技术 (CMP)过程中的电化学行为进行了在线测试。考察了铜在有无铁氰化钾存在下的极化行为及铁氰化钾浓度对腐蚀电位的影响 ,研究了在不同压力下铜抛光前后的腐蚀电位 (φE)和腐蚀电流密度 (Jc)的变化规律 ,比较了抛光前及抛光过程中铜极化曲线的变化。定性地通过成膜的快慢及抛光过程中腐蚀电流密度的大小来说明抛光速率的高低。证明了以弱碱性溶液为介质、铁氰化钾为成膜剂、纳米γ Al2 O3 为磨粒的CMP配方的可行性。
其他文献
河北作为医药出口大省．医药出口产品中化学原料药是传统优势出口项目。河北省医药行业协会提供的数据显示．2008年河北化学原料药出口货值占到全部出口货值的70％左右．高于全国55．6％
分析了生活垃圾焚烧飞灰的粒径、微观形貌及组成。结果表明：98%～99%的飞灰颗粒粒径在4～100μm之间,颗粒分布比较均匀;玻璃相含量高达59%,其中的玻璃微珠使得飞灰具有较大的活性;
在全社会关注教育的情况下．外来工子女基础教育受到社会多方面的关切，成为当前社会的热点问题之一。外来工子女义务教育关系到在下一代人身上填补城乡二元分割的鸿沟，走向社会和
色彩在音乐的创作中有着重要的地位,许多作曲家已经投入了对音乐色彩性的研究。实际上,音乐中色彩的表现主要是通过调式调性、和声以及配器等手段来实现的。这些微妙多样的创
<正> 线性常微分方程组的理论已较完备,对常系数情形,方程组的求解可归结为代数方程的求根问题;对变系数情形,虽对解的结构已研究清楚,但把解具体给出还很困难.文采用分段分
文章主要探讨了和谐校园建设中高校管理的程序和实体法律问题,提出要实现和谐校园建设的整体目标,必须从法制保障建设、法治文化建设、行为规范建设以及权力制约等方面着手,
分析了由一个供应商和一个零售商组成的系统。不确定性需求实现之后,系统成员能够对交易合同参数进行讨价还价,从而确定双方之间的收益分配比例。研究得出,首先,相对于分散控
2016年6月1日,国务院出台了《关于在市场体系建设中建立公平竞争审查制度的意见》,随后各省级政府陆续出台了关于该制度的实施意见,标志着公平竞争审查制度在我国的初步确立
非诉行政执行体制自通过1989年《行政诉讼法》正式确立以来,在我国已运行20余年。该制度的运行程序离不开法院参与,这一点致使人们对非诉行政执行权的性质属于行政权还是司法
新疆作为我国主要的葡萄种植和生产加工区域,其悠久的栽培历史,独特的光热资源等条件,生产出优质的葡萄享誉国内外。近年来,随着新疆依托优势资源大力发展特色产业和进行农业