Miles集成衍射光栅的指向性硅微传声器

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Miles研究小组受Ormia ochrace寄生蝇声定位机理的启发,通过集成信号的衍射光栅读取技术,从原理上、方法上对现有硅微传声器进行了极大的拓展,赋予了硅微传声器极强的指向性,其指向性基本达到了理想的压差传声器的8字型,可有效抑制干扰和噪声,并克服了现有硅微传声器的如寄生电容、蚀刻粘连等诸多局限性。这一发展必将给硅微传声器带来更广泛的应角范围。 Inspired by Ormia ochrace’s parasitic fly localization mechanism, Miles’s team, through the integrated signal diffraction grating reading technology, extends the existing silicon microphones theoretically and methodically to give the silicon microphones extremely strong Directional, and its directivity basically reached the ideal 8-type pressure differential microphone, which can effectively suppress the interference and noise, and overcome the existing silicon micro-microphone such as parasitic capacitance, etched many limitations. This development is bound to bring a wider range of should-silicon micro-microphone should be.
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