【摘 要】
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在低模量介孔SiO2 (Mesoporous silica,mSiO2)微球表面负载Sm掺杂CeO2纳米粒子,制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO2@Ce1-xSmxO2(x=0,0.23)复合颗粒.借助XRD、SEM、HRT
【机 构】
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常州大学机械工程学院,常州213164常州大学江苏省绿色过程装备重点实验室,常州213164;常州大学材料科学与工程学院,常州,213164;
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在低模量介孔SiO2 (Mesoporous silica,mSiO2)微球表面负载Sm掺杂CeO2纳米粒子,制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO2@Ce1-xSmxO2(x=0,0.23)复合颗粒.借助XRD、SEM、HRTEM、STEM-EDXMapping、Raman光谱和N2吸-脱附等技术对产物进行结构表征,利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO2@Ce1-xSmxO2(x=0,0.23)复合颗粒抛光效果的影响.讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制.结果 表明:掺杂处理可使mSiO2@Ce1-xSmxO2(x=0,0.23)复合颗粒的抛光效率提高近36％,达到84 nm/min,同时获得具有原子量级精度的加工表面,抛光后SiO2薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm.
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