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简要介绍微系统的含义，主要工艺、发展历史、现状和发展前景。
微系统技术（连载一）：微系统技术概况
【摘 要】
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简要介绍微系统的含义，主要工艺、发展历史、现状和发展前景。
【机 构】
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东北传感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1995年4期
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