【摘 要】
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局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法。本文为了提高beta-氧化镓（b-Ga2O3）薄膜金属-半导体-金属（MSM）日盲紫外探测器的性能,提出了在beta-氧化镓薄膜表面利
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61504022)~~
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局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法。本文为了提高beta-氧化镓（b-Ga2O3）薄膜金属-半导体-金属（MSM）日盲紫外探测器的性能,提出了在beta-氧化镓薄膜表面利用快速热退火的方法形成分散的铝纳米粒子（Al-NPs）,增强薄膜对光的吸收。运用此方法制备的Al-NPs/b-Ga2O3探测器不仅降低了暗电流,同时也提升了光响应度和探测率。在波长254 nm紫外光照、10 V偏压下,该器件的光响应度达到了2.7 A/W,探测率达到了1.35′1014cm×Hz1/2
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